[实用新型]一种真空环境下的流动柔性基板的加热装置

摘要

本实用新型公开了一种真空环境下的流动柔性基板的加热装置，包括上加热板，下加热板以及电热丝，所述上加热板以及所述下加热板设置有若干个真空螺丝孔，所述上加热板上开有上加热板电热丝槽，所述下加热板开有下加热板电热丝槽，所述电热丝镶嵌于所述上加热板电热丝槽及所述下加热板电热丝槽组成的电热丝安装槽中，所述电热丝与所述安装槽之间具有空腔，所述空腔适于与真空腔室连通，该实用新型提高了对柔性基板加热的均匀性并且缩短了加热时间。 

主权项

一种真空环境下的流动柔性基板的加热装置，包括上加热板（1）、下加热板（2）以及电热丝（3），所述上加热板（1）上设置有若干个上加热板电热丝槽（11），所述下加热板（2）上设置有若干个与所述上加热板电热丝槽（11）对应的下加热板电热丝槽（21），所述电热丝（3）安装在所述上加热板电热丝槽（11）及所述下加热板电热丝槽（21）组成的电热丝安装槽（6）中，其特征在于：所述电热丝（3）与所述电热丝安装槽（6）之间具有空腔（5），所述空腔（5）适于与真空腔室连通。