[实用新型]一种用于真空镀膜的屏蔽箱有效
| 申请号： | 201320582330.7 | 申请日： | 2013-09-22 |
| 公开（公告）号： | CN203559120U | 公开（公告）日： | 2014-04-23 |
| 发明（设计）人： | 王朝阳;宫睿 | 申请（专利权）人： | 无锡启晖光电科技有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/56 | 分类号： | C23C14/56 |
| 代理公司： | 南京天华专利代理有限责任公司 32218 | 代理人： | 徐冬涛 |
| 地址： | 214174 江苏省无锡市惠山经*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种用于真空镀膜的屏蔽箱，包括外壳（1）和屏蔽片（2），其特征在于所述的外壳（1）内设有多个独立设置的屏蔽片（2），屏蔽片（2）相互之间平行设置且每个屏蔽片（2）上皆设有多个通孔（3）。本实用新型采用的屏蔽箱，由于具有多个独立的屏蔽片且每个屏蔽片上具有多个空孔，可以在多次镀膜或长时间镀膜中有效吸附金属层，金属残渣也不会掉落在被镀工件上，从而减少了被镀工件的镀膜缺陷，达到改善镀膜膜层光学和机械性能的目的；且相互独立的屏蔽片易抽取分离和单独清洗，有效的减少了不必要的人力物力损失，具有结构简单、使用方便且吸附效率高的特点，可以根据需要单独或组合地安装在镀膜腔室内镀膜源附近适当的位置。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 用于 真空镀膜 屏蔽 | ||
【主权项】：
一种用于真空镀膜的屏蔽箱，包括外壳（1）和屏蔽片（2），其特征在于所述的外壳（1）内设有多个独立设置的屏蔽片（2），屏蔽片（2）相互之间平行设置且每个屏蔽片（2）上皆设有多个通孔（3）。
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