[实用新型]一种定向凝固设备

摘要

本实用新型涉及定向凝固领域，具体涉及一种定向凝固设备，其炉体外设置有氩气罐，氩气罐的出气口上安装有充气阀，充气阀的出气口处通过水冷轴内的通气管道伸入到水冷盘中心处，通气管道的出气口端位于石英坩埚底部，固定在炉体上的排气筒伸入到保温套筒内，排气筒的出气口端连接有换热器，换热器的出气口端安装有阀门一，出气口端分为两支路，一支路上依次连接有比例阀和真空泵组，真空泵组与炉体相连通，另一支路上依次连接有压差流量计和涡旋式真空泵，涡旋式真空泵的出气口端分为两支路，一支路与通气管道相连通，并安装有阀门三，另一支路连通有侧吹气管，侧吹气管上安装有阀门二，侧吹气管的出气口端插入炉体内部，位于保温套筒的底端。

主权项

一种定向凝固设备，包括炉体，炉体外部安装有真空计，炉体内安装有石英坩埚，石英坩埚外部由内向外依次安装有发热体、保温套筒和感应线圈；石英坩埚底部安装有水冷盘，水冷盘与拉锭机构相连，其特征在于炉体外设置有氩气罐，氩气罐的出气口上安装有充气阀，充气阀的出气口处通过水冷轴内的通气管道伸入到水冷盘中心处，通气管道的出气口端位于石英坩埚底部，固定在炉体上的排气筒伸入到保温套筒内，排气筒的出气口端连接有换热器，换热器的出气口端安装有阀门一，出气口端分为两支路，一支路上依次连接有比例阀和真空泵组，真空泵组包括罗茨泵和滑阀泵，真空泵组与炉体相连通，另一支路上依次连接有压差流量计和涡旋式真空泵，涡旋式真空泵的出气口端分为两支路，一支路与通气管道相连通，并安装有阀门三，另一支路连通有侧吹气管，侧吹气管上安装有阀门二，侧吹气管的出气口端插入炉体内部，位于保温套筒的底端。