[实用新型]在盾构刀具上生成碳氮化钛薄膜的装置

摘要

一种在盾构刀具上生成碳氮化钛薄膜的装置，主要包括真空镀膜系统、脉冲电路系统和等离子体生成系统；真空镀膜系统包括真空镀膜室和位于真空镀膜室内放置盾构刀具的旋转台，真空镀膜室设有排气口；等离子体生成系统包括筒状石墨外电极、位于石墨外电极内的金属钛内电极以及充电装置，充电装置与石墨外电极和钛内电极电连接，石墨外电极和钛内电极一端伸进真空镀膜室内；脉冲电路系统与钛内电极电连接，有一充氮气口与真空镀膜室连通。该装置可以在盾构刀具上生成碳氮化钛薄膜，为刀具提供更好的性能，并增强刀具抗粘滞磨损能力以及提高刀具的强度、硬度、耐磨性，最终增加使用寿命。

主权项

一种在盾构刀具上生成碳氮化钛薄膜的装置，其特征在于：主要包括真空镀膜系统、脉冲电路系统和等离子体生成系统；所述真空镀膜系统包括真空镀膜室和位于真空镀膜室内放置盾构刀具的旋转台，真空镀膜室设有排气口；所述等离子体生成系统包括筒状石墨外电极、位于石墨外电极内的金属钛内电极以及充电装置，所述充电装置与石墨外电极和钛内电极电连接，所述石墨外电极和钛内电极一端伸进所述真空镀膜室内；所述脉冲电路系统与所述钛内电极电连接，有一充氮气口与所述真空镀膜室连通。