[实用新型]一种清洗装置有效
| 申请号： | 201320599735.1 | 申请日： | 2013-09-26 |
| 公开（公告）号： | CN203635584U | 公开（公告）日： | 2014-06-11 |
| 发明（设计）人： | 刘利萍;刘俊豪;孔益;叶超前;管礼志 | 申请（专利权）人： | 合肥京东方光电科技有限公司;京东方科技集团股份有限公司 |
| 主分类号： | B08B11/04 | 分类号： | B08B11/04 |
| 代理公司： | 北京天昊联合知识产权代理有限公司 11112 | 代理人： | 柴亮;张天舒 |
| 地址： | 230011 安*** | 国省代码： | 安徽;34 |
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| 摘要： | 本实用新型提供一种清洗装置，属于清洗技术领域，其可解决现有的清洗基板的技术存在的或投入成本较高或清洗效果不理想的问题。本实用新型的清洗装置包括抽吸装置，所述抽吸装置用于对基板待清洗表面外的清洗液体或气体进行抽吸，所述清洗装置还包括至少一个用于形成涡旋流体的筒状元件，其两端均设开口，所述筒状元件的一端朝向所述抽吸装置，另一端朝向基板。本实用新型可用于对基板进行清洗。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 清洗 装置 | ||
【主权项】：
一种清洗装置，包括抽吸装置，所述抽吸装置用于对基板待清洗表面外的清洗液体或气体进行抽吸，其特征在于，所述清洗装置还包括至少一个用于形成涡旋流体的筒状元件，所述筒状元件的两端均设开口，所述筒状元件的一端朝向所述抽吸装置，另一端朝向基板。
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