[实用新型]含金属掺杂的类金刚石厚膜

摘要

本实用新型公开了一种含金属掺杂的类金刚石厚膜，包含基材、结合层、掺杂层和功能层，所述掺杂层和功能层结合形成一复合层，所述基材的上表面设有结合层，所述结合层的上表面设有依次叠加的复合层且所述掺杂层和功能层间隔设置，所述结合层与复合层中的掺杂层结合，所述类金刚石厚膜的厚度大于4µm。本实用新型的有益效果主要体现在：在纯DLC膜层中掺杂数层纳米级含金属类金刚石（例如：含钨类金刚石DLC-W）结构，充分缓解DLC膜层本身的内应力，同时也有效地增加了膜层与基材之间的结合力，使膜层厚度可超过10µm，并具有100N以上的划痕结合力。

主权项

一种含金属掺杂的类金刚石厚膜，其特征在于：包含基材（1）、结合层（2）、掺杂层（3）和功能层（4），所述掺杂层（3）和功能层（4）结合形成一复合层，所述基材（1）的上表面设有结合层（2），所述结合层（2）的上表面设有依次叠加的复合层且所述掺杂层（3）和功能层（4）间隔设置，所述结合层（2）与复合层中的掺杂层（3）结合，所述类金刚石厚膜的厚度大于4µm。