[实用新型]一种炭/炭喉衬CVI处理用工装

摘要

本实用新型公开了一种炭/炭喉衬CVI处理用工装，包括托盘和外筒，所述外筒设置在托盘上，所述托盘上开设有多个第一进气孔，所述外筒内壁设置有多个分气支撑板，多个所述分气支撑板沿外筒的高度方向间隔布设，多个所述分气支撑板均为圆形板且其中部均开设有通孔，所述通孔内设置有沿外筒的高度方向布设且用于将电阻化学气相沉积炉底部气体引导至电阻化学气相沉积炉上部的引气管，所述分气支撑板上开设有多个第二进气孔，所述托盘和与托盘相邻接的分气支撑板均连接有支撑脚。该工装能够使得大型电阻化学气相沉积炉装炉过程变得简便易操作，同时通过改善气体流场解决了整炉产品密度不均的问题。

主权项

一种炭/炭喉衬CVI处理用工装，其特征在于：包括托盘（1）和外筒（4），所述外筒（4）设置在托盘（1）上，所述托盘（1）上开设有多个第一进气孔（8），所述外筒（4）内壁设置有多个分气支撑板（3），多个所述分气支撑板（3）沿外筒（4）的高度方向间隔布设，多个所述分气支撑板（3）均为圆形板且其中部均开设有通孔，所述通孔内设置有沿外筒（4）的高度方向布设且用于将电阻化学气相沉积炉（10）底部气体引导至电阻化学气相沉积炉（10）上部的引气管（6），所述分气支撑板（3）上开设有多个第二进气孔，所述托盘（1）和与托盘（1）相邻接的分气支撑板（3）均连接有支撑脚（7）。