[实用新型]一种石墨舟有效
| 申请号： | 201320643883.9 | 申请日： | 2013-10-18 |
| 公开（公告）号： | CN203562412U | 公开（公告）日： | 2014-04-23 |
| 发明（设计）人： | 周晓涛 | 申请（专利权）人： | 衡水英利新能源有限公司 |
| 主分类号： | H01L21/673 | 分类号： | H01L21/673 |
| 代理公司： | 石家庄国为知识产权事务所 13120 | 代理人： | 李荣文 |
| 地址： | 053000 河北省*** | 国省代码： | 河北;13 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本实用新型公开了一种石墨舟，包括石墨片、陶瓷杆和石墨杆，陶瓷杆和石墨杆内部包裹加强筋；加强筋为金属材质；加强筋的材质为铁。本实用新型采用在陶瓷杆和石墨杆中间加入加强筋的方式，增强了石墨杆和陶瓷杆的强度，降低了陶瓷杆和石墨杆的折断率，有效避免了硅片掉片和频繁更换石墨杆、陶瓷杆，大大提高了工作效率，同时节约了成本。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 石墨 | ||
【主权项】：
一种石墨舟，包括石墨片（1）、陶瓷杆（2）和石墨杆（3），其特征在于：陶瓷杆（2）和石墨杆（3）内部包裹加强筋（4）。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
