[实用新型]一种多晶硅铸锭炉氩气导流系统有效
| 申请号： | 201320658718.0 | 申请日： | 2013-10-24 |
| 公开（公告）号： | CN203613302U | 公开（公告）日： | 2014-05-28 |
| 发明（设计）人： | 苏文佳;左然 | 申请（专利权）人： | 江苏大学 |
| 主分类号： | C30B28/06 | 分类号： | C30B28/06;C30B29/06 |
| 代理公司： | 南京知识律师事务所 32207 | 代理人： | 汪旭东 |
| 地址： | 212013 江*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型提供一种多晶硅铸锭炉氩气导流系统，包括氩气进口直管、石墨坩埚和盖板，石墨坩埚的开口边缘开有凹槽，顶部盖板上绕氩气进口直管对称分布盖板排气口，氩气进口直管出口端与喇叭形进口管的进口端连接，氩气进口直管出口端侧壁上对称分布有出口气孔，喇叭形进口管的出口端与喷淋式进口管的进口端连接，喷淋式进口管为有底管，喷淋式进口管的底部对称分布有底部气孔，喷淋式进口管的侧壁上对称开有侧壁气孔。使用该系统时，针对熔料、生长和收尾的不同阶段，控制氩气进口直管的上下不同位置，从而能够优化氩气流动，降低晶体硅中的氧碳含量，同时方便地控制晶体硅和熔体硅的轴向温度梯度。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 多晶 铸锭 炉氩气 导流 系统 | ||
【主权项】：
一种多晶硅铸锭炉氩气导流系统，包括氩气进口直管（7）、石墨坩埚（12）和盖在所述石墨坩埚（12）顶部的盖板（8），所述氩气进口直管（7）穿过所述盖板（8）将氩气导入所述石墨坩埚（12）内，其特征在于，所述石墨坩埚（12）的开口边缘开有若干凹槽(6)，所述盖板(8)和所述凹槽(6)构成石墨坩埚的顶部侧排气口(15)，所述顶部盖板(8)上绕所述氩气进口直管(7)对称分布若干盖板排气口(14)，所述氩气进口直管(7)出口端与喇叭形进口管(10)的进口端连接，所述氩气进口直管(7)出口端侧壁上沿氩气进口直管的中心轴线对称分布有若干出口气孔(9)，所述喇叭形进口管(10)的出口端与喷淋式进口管(5)的进口端连接，所述喷淋式进口管(5)为有底管，所述喷淋式进口管(5)的底部沿氩气进口直管的中心轴线对称分布有若干底部气孔(3)，所述喷淋式进口管(5)的侧壁上也沿氩气进口直管的中心轴线对称开有若干侧壁气孔(4)。
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