[实用新型]风冷型扩散泵真空机组有效
| 申请号： | 201320661039.9 | 申请日： | 2013-10-24 |
| 公开（公告）号： | CN203532351U | 公开（公告）日： | 2014-04-09 |
| 发明（设计）人： | 方辉;邾根祥;江晓平 | 申请（专利权）人： | 合肥科晶材料技术有限公司 |
| 主分类号： | F04F9/04 | 分类号： | F04F9/04;F04F9/08 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 230031 安徽省*** | 国省代码： | 安徽;34 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种风冷型扩散泵真空机组，包括扩散泵组及控制系统；所述扩散泵组包括风冷型扩散泵，所述风冷型扩散泵连接有前级泵，所述风冷型扩散泵与前级泵之间的管路上安装有高真空阀门组，所述风冷型扩散泵、前级泵、高真空阀门组均与控制系统信号连接。本实用新型采用风冷型扩散泵的设计，相比水冷型节约了生产及使用成本，并且具有操作方便、能够减少设备占用体积的优势。 | ||
| 搜索关键词： | 风冷 扩散 真空机组 | ||
【主权项】：
一种风冷型扩散泵真空机组，包括扩散泵组及控制系统，其特征在于：所述扩散泵组包括风冷型扩散泵，所述风冷型扩散泵连接有前级泵，所述风冷型扩散泵与前级泵之间的管路上安装有高真空阀门组，所述风冷型扩散泵、前级泵、高真空阀门组均与控制系统信号连接。
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