[实用新型]具有异常碰撞或掉落检测功能的晶圆盒有效
| 申请号： | 201320672796.6 | 申请日： | 2013-10-29 |
| 公开（公告）号： | CN203774269U | 公开（公告）日： | 2014-08-13 |
| 发明（设计）人： | 张珏;陈思安 | 申请（专利权）人： | 中芯国际集成电路制造（北京）有限公司 |
| 主分类号： | H01L21/673 | 分类号： | H01L21/673;H01L21/66 |
| 代理公司： | 上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237 | 代理人： | 屈蘅;李时云 |
| 地址： | 100176 北京市大兴区*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本申请公开了一种具有异常碰撞或掉落检测功能的晶圆盒，包括晶圆盒本体和电子标签，所述电子标签设置于所述晶圆盒本体的侧面，所述电子标签包括存储单元、重力加速度探测器和逻辑判断单元，所述逻辑判断单元分别和所述存储单元与所述重力加速度探测器连接。所述重力加速度探测器可以实时侦测晶圆盒所受的重力加速度，逻辑判断单元根据重力加速度探测器侦测到的重力加速度信息，判断晶圆盒是否经受过碰撞或跌落，进而可以通过后续的机台读取电子标签中的信息，获知晶圆盒是否经受过碰撞或跌落，若经受过碰撞或跌落，则需要进行扫描检测是否完好，若没有经受过碰撞或者跌落，则可以后续工艺制程，从而可以有效降低颗粒杂质的产生，提高产品良率。 | ||
| 搜索关键词： | 具有 异常 碰撞 掉落 检测 功能 晶圆盒 | ||
【主权项】：
一种具有异常碰撞或掉落检测功能的晶圆盒，其特征在于，包括晶圆盒本体和电子标签，所述电子标签设置于所述晶圆盒本体的侧面，所述电子标签包括存储单元、重力加速度探测器和逻辑判断单元，所述逻辑判断单元分别和所述存储单元与所述重力加速度探测器连接。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
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H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
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