[实用新型]硅片清洗机溢流纯水循环系统

摘要

硅片清洗机溢流纯水循环系统，涉及光伏行业的领域，尤其涉及硅片清洗设备，包括四个漂洗槽，四个漂洗槽的上端由高到低依次排列，在四个漂洗槽的下方设置同一蓄水槽，蓄水槽内设置加热管和水泵；在四个漂洗槽中上端最低的漂洗槽的一侧竖向设置第一循环水道，第一循环水道的上端设置进水口，第一循环水道的出水口与蓄水槽连通；四个漂洗槽中上端最高的漂洗槽的一侧竖向设置第二循环水道，第二循环水道的进水口与所述水泵的输出端连接，第二循环水道的上端设置出水口。本实用新型的加热蓄水槽内的纯水循环利用，既节约了用水，又更好的控制了溢流进水的水温。从生产方面更好的控制并降低了脏片出现的几率，提高了硅片清洗的效果。

主权项

硅片清洗机溢流纯水循环系统，包括四个漂洗槽，其特征在于：四个漂洗槽的上端由高到低依次排列，在四个漂洗槽的下方设置同一蓄水槽，蓄水槽内设置加热管和水泵；在四个漂洗槽中上端最低的漂洗槽的一侧竖向设置第一循环水道，第一循环水道的上端设置进水口，上端最低的漂洗槽的水溢流从进水口流入至第一循环水道，第一循环水道的出水口与蓄水槽连通；四个漂洗槽中上端最高的漂洗槽的一侧竖向设置第二循环水道，第二循环水道的进水口与所述水泵的输出端连接，第二循环水道的上端设置出水口，第二循环水道的水从出水口流入上端最高的漂洗槽内。