[实用新型]大量程亚微米级高精度气电转换器

摘要

本实用新型涉及一大量程亚微米级高精度气电转换器，其包括双稳气压测量室、精密信号调理部及PC机；气体稳压过滤器连接双稳气压测量室，所述双稳气压测量室连接压电传感器，精密可调双稳压基准电源分别与压电传感器及调零器连接；压电传感器依次与高增益放大器、调零器、有源滤波器、A/D转换器、单片机连接；所述有源滤波器连接模拟输出接口；所述单片机连接232串行接口；所述232串行接口连接PC机，PC机通过232串行接口与单片机进行快速实时通讯，能实时地获取单片机获得的气电转换器的测量值。本实用新型有效提高了转换器的转换精度；在测量范围精度高；测量范围在±40um时，从而适合了多品种、高精密柔性生产线的现场测量需求。

主权项

 大量程亚微米级高精度气电转换器，其特征是：包括双稳气压测量室（1）、精密信号调理部（12）及PC机（7）；精密信号调理部由压电传感器（2），精密可调双稳压基准电源（3），高增益放大器（11），调零器（10），有源滤波器（4），模拟输出接口（9），A/D转换器（5），单片机（6），232串行接口（8）组成；所述压缩空气进入气体稳压过滤器，所述气体稳压过滤器输出端连接双稳气压测量室（1）的输入端，所述压缩空气进入双稳气压测量室（1）进行气压比较测量，所述双稳气压测量室（1）的输出端连接到压电传感器（2）的输入端，所述精密可调双稳压基准电源（3）的一路电源输出端连接到压电传感器（2）的电源输入端，所述精密可调双稳压基准电源（3）的另一路电源输出端连接到调零器（10）的电源输入端，所述压电传感器（2）的检测信号输出端连接到高增益放大器（11）的输入端，所述高增益放大器（11）的输出端连接到调零器（10）的信号输入端，所述调零器（10）的输出端连接到有源滤波器（4）的输入端，所述有源滤波器（4）的一路模拟信号输出端连接到模拟输出接口（9）的输入端，所述有源滤波器（4）的另一路模拟信号输出端连接到A/D转换器（5）输入端，所述A/D转换器（5）的输出端连接到单片机（6）的数字信号输入端，所述单片机（6）的串行信号输入/输出端连接到232串行接口（8）的串行信号输出/输入端；所述232串行接口（8）与PC机（7）相连，PC机（7）通过232串行接口（8）与单片机（6）进行快速实时通讯，能实时地获取单片机（6）获得的气电转换器的测量值。