[实用新型]一种基于恒力控制的超声振幅测量装置有效
| 申请号： | 201320708296.3 | 申请日： | 2013-11-11 |
| 公开（公告）号： | CN203672482U | 公开（公告）日： | 2014-06-25 |
| 发明（设计）人： | 张伟;郭钟宁;连海山;何俊峰 | 申请（专利权）人： | 广东工业大学 |
| 主分类号： | G01H17/00 | 分类号： | G01H17/00 |
| 代理公司： | 广州三环专利代理有限公司 44202 | 代理人： | 颜希文;宋静娜 |
| 地址： | 510006 广东省广*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及超声加工中超声振幅的测量，是一种基于恒力控制的超声振幅测量装置。利用精密微三维运动平台Z轴运动与压力传感器结合形成闭环控制系统，在无超声与有超声作用于超声振动系统条件下，通过记录精密微三维运动平台Z轴两次运动的坐标差来实现对超声振幅的测量，对环境噪声干扰要求不高；并且提高精密微三维运动平台的精度和压力传感器采样频率即可提高测量精度，理论上可以精确到纳米级。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 基于 恒力 控制 超声 振幅 测量 装置 | ||
【主权项】：
一种基于恒力控制的超声振幅测量装置，包括超声振动加工装置，其特征在于，还包括压力传感器、精密微三维运动平台；所述精密微三维运动平台上方设置压力传感器，所述的压力传感器正对着超声振动加工装置；所述的压力传感器通过数据采集系统与计算机相连；所述的精密微三维运动平台通过运动控制系统与计算机相连。
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