[实用新型]一种用于喷涂石英埚涂层的装置有效
| 申请号： | 201320712479.2 | 申请日： | 2013-11-12 |
| 公开（公告）号： | CN203639344U | 公开（公告）日： | 2014-06-11 |
| 发明（设计）人： | 闫广宁;王怡然;李永峰 | 申请（专利权）人： | 河北宁晋松宫半导体有限公司 |
| 主分类号： | C03C17/00 | 分类号： | C03C17/00 |
| 代理公司： | 河北东尚律师事务所 13124 | 代理人： | 王文庆 |
| 地址： | 055550 河北*** | 国省代码： | 河北;13 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种用于喷涂石英埚涂层的装置，包括用于喷涂涂层溶液的喷枪；还包括用于放置石英埚的埚托和用于调整石英埚内壁喷涂高度的托盘；托盘为圆形，并且托盘的上表面上设有多个用于吊住托盘并挂在石英埚上边沿的挂钩。本实用新型能够根据不同投料量的要求，实现调节石英埚内壁上沿涂层高度的目的。本实用新型操作简单、快捷，能有效控制涂层均匀，进而保证上沿涂层部分拉晶过程中不变形。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 用于 喷涂 石英 涂层 装置 | ||
【主权项】：
一种用于喷涂石英埚涂层的装置，包括用于喷涂涂层溶液的喷枪（5）；其特征在于：还包括用于放置石英埚（2）的埚托（1）和用于调整石英埚（2）内壁喷涂高度的托盘（3）；托盘（3）为圆形，并且托盘（3）的上表面上设有多个用于吊住托盘并挂在石英埚（2）上边沿的挂钩（4）。
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