[实用新型]硅片承载装置、硅片运输装置和硅片印刷设备有效
申请号: | 201320716929.5 | 申请日: | 2013-11-13 |
公开(公告)号: | CN203528073U | 公开(公告)日: | 2014-04-09 |
发明(设计)人: | 郝晓波 | 申请(专利权)人: | 英利能源(中国)有限公司 |
主分类号: | B41F23/04 | 分类号: | B41F23/04 |
代理公司: | 北京康信知识产权代理有限责任公司 11240 | 代理人: | 吴贵明;张永明 |
地址: | 071051 河*** | 国省代码: | 河北;13 |
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摘要: | 本实用新型提供了一种硅片承载装置、硅片运输装置和硅片印刷设备,硅片承载装置包括:承载部,包括用于承载硅片的承载平面;加热装置,设置在承载部内或承载部的一侧以对位于承载平面上的硅片进行加热。在印刷工序中,硅片由硅片承载装置运输到各个工位,而本申请的硅片承载装置包括加热装置,用于加热放置在承载平面的硅片,使得硅片在运输过程中就被加热烘干,这样就可以省去单独烘干硅片的步骤,从而节约印刷工序的时间,并省去了烘干设备的费用成本,也能够满足电池片的快速生产。 | ||
搜索关键词: | 硅片 承载 装置 运输 印刷 设备 | ||
【主权项】:
一种硅片承载装置,其特征在于,包括:承载部(10),包括用于承载硅片的承载平面(100);加热装置(20),设置在所述承载部(10)内或所述承载部的一侧以对位于所述承载平面(100)上的所述硅片进行加热。
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