[实用新型]反熔丝结构有效
申请号: | 201320717904.7 | 申请日: | 2013-11-14 |
公开(公告)号: | CN203553153U | 公开(公告)日: | 2014-04-16 |
发明(设计)人: | 甘正浩 | 申请(专利权)人: | 中芯国际集成电路制造(北京)有限公司 |
主分类号: | H01L23/525 | 分类号: | H01L23/525 |
代理公司: | 上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237 | 代理人: | 屈蘅;李时云 |
地址: | 100176 北京市大兴区*** | 国省代码: | 北京;11 |
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摘要: | 本实用新型一种反熔丝结构,包括设有第一梳状结构和第二梳状结构的第一端子、第二端子以及连接第一端子和第二端子的若干通孔连线,通孔连线位于第一梳状结构和第二梳状结构之间;在第一梳状结构和第二梳状结构之间增加通孔连线,在反熔丝熔通时,分别在第一端子和第二端子之间施加熔通电压,由于通孔连线位于第一梳状结构和第二梳状结构之间,能够增加通孔连线与第一梳状结构和第二梳状结构之间的电场,即施加的熔通电压较小时也能够实现击穿导通,进而保证反熔丝在工作电压较低的先进制程中保持很好的良率和可靠性。 | ||
搜索关键词: | 反熔丝 结构 | ||
【主权项】:
一种反熔丝结构,其特征在于,包括:第一端子、第二端子以及若干通孔连线,所述第一端子包括第一梳状结构和第二梳状结构,所述第一梳状结构和第二梳状结构相隔离,所述第二端子位于所述第一端子的后一层,所述第二端子与所述通孔连线相连,所述通孔连线位于所述第一梳状结构和第二梳状结构之间。
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