[实用新型]水平校准装置

摘要

本实用新型提出了一种水平校准装置，用于校准刻蚀腔室内下电极的水平位置，所述装置包括校准盘、设于所述校准盘上的校准单元、与校准单元通过信号线连接的校准马达；将校准盘放置于下电极的表面，使用校准单元检测下电极的水平位置是否良好，若存在偏差，则由所述校准单元通过信号线发送信号至校准马达，促使校准马达进行相应的升降，进而对所述下电极进行相应的调整，直至校准单元检测出下电极的水平位置良好，从而达到快速、便捷的对下电极进行校准，节省人力、精力、时间以及成本。

主权项

一种水平校准装置，用于校准刻蚀腔室内下电极的水平位置，其特征在于，所述装置包括：校准盘；至少一个校准单元，所述校准单元设于所述校准盘上；至少一个校准马达，所述校准马达与所述校准单元通过一信号线连接。