[实用新型]干燥槽装置

摘要

本实用新型提出了一种干燥槽装置，用于干燥晶圆，包括：第一干燥槽，与第一干燥槽的一侧壁相连的水槽，与第一干燥槽的另一侧壁相连的第二干燥槽，第一干燥槽设有遮挡板，设于第一干燥槽外、并悬空位于遮挡板上方的除水单元，位于水槽、第一干燥槽以及第二干燥槽外的机械手臂；在第一干燥槽外添加除水单元，并将除水单元设于遮挡板上方，当遮挡板关闭时，除水单元能够对遮挡板的表面进行除水处理，从而避免在遮挡板打开时遮挡板上的水滴滴落至晶圆的表面，进而消除缺陷，提高晶圆的良率。

主权项

一种干燥槽装置，用于干燥晶圆，其特征在于，所述装置包括：水槽、第一干燥槽、第二干燥槽、机械手臂以及除水单元，其中，所述第一干燥槽的一侧壁与所述水槽相连，所述第一干燥槽的另一侧壁与所述第二干燥槽相连，所述第一干燥槽设有遮挡板，所述除水单元设于所述第一干燥槽外，并悬空位于所述遮挡板上方，所述机械手臂位于所述水槽、第一干燥槽以及第二干燥槽外。