[实用新型]气浮辊道式半导体器件热处理炉有效
| 申请号： | 201320727807.6 | 申请日： | 2013-11-18 |
| 公开（公告）号： | CN203605700U | 公开（公告）日： | 2014-05-21 |
| 发明（设计）人： | 袁向东;许颖;袁瑒 | 申请（专利权）人： | 北京金晟阳光科技有限公司;袁向东;许颖 |
| 主分类号： | F27B9/30 | 分类号： | F27B9/30;F27D5/00 |
| 代理公司： | 青岛发思特专利商标代理有限公司 37212 | 代理人： | 马俊荣 |
| 地址： | 100102 北京市朝*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及一种气浮辊道式半导体器件热处理炉，该热处理炉中传输半导体器件的辊道由若干条水平排列、沿自身轴线往复转动的辊轴组成，至少一部分辊轴为空心辊轴，在空心辊轴上半导体器件经过的部位沿径向方向设置有若干通气孔，在空心辊轴的至少一端通过旋转接头与进气管连接，气体通过空心辊轴上的通气孔进入到半导体器件经过的炉膛部位。本实用新型从根本上保证炉内核心扩散区域的气氛和洁净度，从而提高了扩散效果和质量。 | ||
| 搜索关键词： | 气浮辊道式 半导体器件 热处理 | ||
【主权项】：
一种气浮辊道式半导体器件热处理炉，其特征在于，在所述热处理炉中，传输半导体器件的辊道由若干条水平排列、沿自身轴线往复转动的辊轴组成，至少一部分辊轴为空心辊轴，在空心辊轴上半导体器件经过的部位沿径向方向设置有若干通气孔，在空心辊轴的至少一端通过旋转接头与进气管连接，气体通过空心辊轴上的通气孔进入到半导体器件经过的炉膛部位。
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