[实用新型]超纯砷烷的分析装置有效
申请号: | 201320731174.6 | 申请日: | 2013-11-19 |
公开(公告)号: | CN203616296U | 公开(公告)日: | 2014-05-28 |
发明(设计)人: | 李英辉;朱颜;王陆平;马潇;许从应;王仕华;王智 | 申请(专利权)人: | 苏州丹百利电子材料有限公司 |
主分类号: | G01N30/88 | 分类号: | G01N30/88 |
代理公司: | 南京苏科专利代理有限责任公司 32102 | 代理人: | 王玉国;陈忠辉 |
地址: | 215021 江*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | 本实用新型涉及超纯砷烷的分析装置,四通进样阀端口分别与超纯砷烷样品气管路、氦气管路、氮气管路以及十通阀一端口相连,十通阀一端口与分子泵机组相连,其相连管路上安装有压力传感器和隔膜阀,十通阀两端口分别与定量管进口和出口相连,十通阀两端口分别与预分离柱进口和出口相连,十通阀两端口分别与载气管路相连,十通阀一端口与放空管路相连,十通阀一端口与六通阀一端口相连,六通阀两端口分别与载气管路相连,六通阀一端口与放空管路相连,六通阀一端口与第一分析柱相连,第一分析柱与四通阀一端口相连,六通阀一端口与第二分析柱相连,第二分析柱与四通阀一端口相连,四通阀一端口与检测器相连,四通阀一端口与放空管路相连。 | ||
搜索关键词: | 超纯砷烷 分析 装置 | ||
【主权项】:
超纯砷烷的分析装置,其特征在于:包括四通进样阀、预分离柱、第一分析柱、第二分析柱、十通阀、六通阀和四通阀,四通进样阀的端口分别与超纯砷烷样品气管路、氦气管路、氮气管路以及十通阀的其中一端口相连,十通阀的其中一端口与分子泵机组相连,其相连的管路上安装有压力传感器和隔膜阀,十通阀的其中两端口分别与定量管的进口和出口相连,十通阀的其中两端口分别与预分离柱的进口和出口相连,十通阀的其中两端口分别与载气管路相连,十通阀的其中一端口与放空管路相连,十通阀的其中一端口与六通阀的其中一端口相连,六通阀的其中两端口分别与载气管路相连,六通阀的其中一端口与放空管路相连,六通阀的其中一端口与第一分析柱相连,第一分析柱与四通阀的其中一端口相连,六通阀的其中一端口与第二分析柱相连,第二分析柱与四通阀的其中一端口相连,四通阀的其中一端口与检测器相连,四通阀的其中一端口与放空管路相连。
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