[实用新型]圆柱体外表面的光学检测装置有效
| 申请号： | 201320732395.5 | 申请日： | 2013-11-19 |
| 公开（公告）号： | CN203657756U | 公开（公告）日： | 2014-06-18 |
| 发明（设计）人： | 李雪园;韩森;孙昊 | 申请（专利权）人： | 苏州慧利仪器有限责任公司;韩森 |
| 主分类号： | G01B11/24 | 分类号： | G01B11/24 |
| 代理公司： | 苏州创元专利商标事务所有限公司 32103 | 代理人： | 马明渡;王健 |
| 地址： | 215123 江苏省苏州*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型公开一种圆柱体外表面的光学检测装置，聚光凸透镜位于激光器和准直凸透镜之间且聚光凸透镜的焦点与准直凸透镜的焦点重合；所述分束镜位于聚光凸透镜和准直凸透镜之间，用于将来自准直凸透镜的光线分为第一光束和第二光束；所述标准平晶位于准直凸透镜与分束镜相背的一侧，该标准平晶与准直凸透镜相背的表面为标准平面；位于环形斜面反射镜中央的环形反射斜面沿其周向且位于内侧，所述待检测所述圆柱位于环形斜面反射镜内，且环形斜面反射镜的旋转轴与圆柱与标准平晶各自的轴线重合，所述环形斜面反射镜的环形反射斜面与圆柱的外表面面对面放置。本实用新型实现了一次性获得全部立体柱体外表面形貌信息，同时也大大提高了测试效率、精度和可靠性。 | ||
| 搜索关键词： | 圆柱 体外 表面 光学 检测 装置 | ||
【主权项】：
一种圆柱体外表面的光学检测装置，所述外表面（1）沿所述柱体（2）周向且位于外侧，其特征在于：包括激光器（3）、聚光凸透镜（4）、分束镜（5）、作为物镜的准直凸透镜（6）、标准平晶（7）和环形斜面反射镜（8），所述聚光凸透镜（4）位于激光器（3）和准直凸透镜（6）之间且聚光凸透镜（4）的焦点与准直凸透镜（6）的焦点重合；所述分束镜（5）位于聚光凸透镜（4）和准直凸透镜（6）之间，用于将来自准直凸透镜（6）的光线分为第一光束和第二光束；所述标准平晶（7）位于准直凸透镜（6）与分束镜（5）相背的一侧，该标准平晶（7）与准直凸透镜（6）相背的表面为标准平面（71）；位于环形斜面反射镜（8）中央的环形反射斜面（81）沿其周向且位于内侧，所述待检测所述圆柱（2）位于环形斜面反射镜（8）内，且环形斜面反射镜（8）的旋转轴与圆柱（2）与标准平晶（7）各自的轴线重合，所述环形斜面反射镜（8）的环形反射斜面（81）与圆柱（2）的外表面（1）面对面放置，此环形斜面反射镜（8）沿轴线移动从而实现对柱体（2）的外表面（1）扫描；干涉图样接收部件（9）位于所述分束镜（5）一侧，用于接收来自分束镜（5）的第二光束。
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