[实用新型]一种环状压电式微加速度传感器有效
| 申请号： | 201320733460.6 | 申请日： | 2013-11-20 |
| 公开（公告）号： | CN203561646U | 公开（公告）日： | 2014-04-23 |
| 发明（设计）人： | 孙远程;姚明秋;苏伟 | 申请（专利权）人： | 中国工程物理研究院电子工程研究所 |
| 主分类号： | G01P15/09 | 分类号： | G01P15/09 |
| 代理公司： | 中国工程物理研究院专利中心 51210 | 代理人： | 翟长明 |
| 地址： | 621999 四*** | 国省代码： | 四川;51 |
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| 摘要： | 本实用新型提供了一种环状压电式微加速度传感器。所述的传感器包括敏感芯片和上、下玻璃板；其中，敏感芯片包含两个上电极、两个下电极、两个压电层、支撑膜、外框、质量块。所述的两个下电极置于支撑膜之上，两个压电层置于下电极之上，两个上电极置于压电层之上。质量块悬置于下电极之下并与支撑膜固定连接，构成敏感芯片的可动部分。电极、压电层分别构成的圆环均与质量块同圆心。所述的敏感芯片与上、下玻璃板分别通过键合连接。本实用新型的环状压电式微加速度传感器的固有频率为14.2KHz以上，灵敏度为0.23pC/g。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 环状 压电 式微 加速度 传感器 | ||
【主权项】：
一种环状压电式微加速度传感器，其特征在于：所述的传感器包括敏感芯片（11）、上玻璃板（10）、下玻璃板（9）；其中，敏感芯片（11）含有第一压电层（1）、第二压电层（2）、第一上电极（4）、第二上电极（5）、第一下电极（6）、第二下电极（7）、支撑膜（3）、外框（12）、圆柱状的质量块（8）；所述的第二压电层（2）、第一压电层（1）由内外两个圆环构成；第一上电极（4）、第二上电极（5）、第一下电极（6）、第二下电极（7）均为环状；其连接关系是,所述的第一下电极（6）、第二下电极（7）设置于支撑膜（3）上表面，并与支撑膜（3）上表面固定连接；所述的第一压电层（1）、第二压电层（2）分别设置于第一下电极（6）、第二下电极（7）的上表面，并与第一下电极（6）、第二下电极（7）的上表面固定连接；所述的第一上电极（4）、第二上电极（5）分别设置于第一压电层（1）、第二压电层（2）的上表面，并与第一压电层（1）、第二压电层（2）的上表面固定连接；所述的质量块（8）悬置于第一下电极（6）、第二下电极（7）之下，并与支撑膜（3）固定连接；所述的支撑膜（3）与外框（12）固定连接；所述的敏感芯片（11）与上玻璃板（10）、下玻璃板（9）分别通过键合连接。
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