[实用新型]用于晶棒电阻自动测试的装置有效
申请号: | 201320735669.6 | 申请日: | 2013-11-20 |
公开(公告)号: | CN203672973U | 公开(公告)日: | 2014-06-25 |
发明(设计)人: | 李鑫;贺贤汉;鲁瑞平 | 申请(专利权)人: | 上海申和热磁电子有限公司 |
主分类号: | G01R27/08 | 分类号: | G01R27/08 |
代理公司: | 上海顺华专利代理有限责任公司 31203 | 代理人: | 沈履君 |
地址: | 200444 上海市宝*** | 国省代码: | 上海;31 |
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摘要: | 本实用新型用于晶棒电阻自动测试的装置,包括:支架,在所述支架上设有滑轨;长压板,所述长压板设置在所述滑轨上,在所述长压板开有安装孔;探针,所述探针设置在所述安装孔内;其中所述探针及所述安装孔的数量为36个;数据扫描仪,所述数据扫描仪与所述探针连接。所述数据扫描仪包括相互连接的电压表、电流表及数据采集器。在所述长压板上安装有圆压块。所述圆压块的数量为1~3个。所述长压板的材质为金属。本实用新型用于晶棒电阻自动测试的装置将传统的晶棒电阻测量方法由两探针手工逐段移动进行测试改为多探针同时自动测量,提高了晶棒的测试速度及生产效率,同时减少了人工测试的误差,提高了测试精度。 | ||
搜索关键词: | 用于 电阻 自动 测试 装置 | ||
【主权项】:
用于晶棒电阻自动测试的装置,其特征在于,包括:支架,在所述支架上设有滑轨;长压板,所述长压板设置在所述滑轨上,在所述长压板开有安装孔;探针,所述探针设置在所述安装孔内;其中所述探针及所述安装孔的数量为36个;数据扫描仪,所述数据扫描仪与所述探针连接。
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