[实用新型]化学机械抛光机用助力机械手有效
| 申请号： | 201320739613.8 | 申请日： | 2013-11-20 |
| 公开（公告）号： | CN203600232U | 公开（公告）日： | 2014-05-21 |
| 发明（设计）人： | 郝玉清;程凤伶;蔡丽艳;李耀东;陈信;任凯峰;张建;李奇;白鸽玲 | 申请（专利权）人： | 有研半导体材料股份有限公司 |
| 主分类号： | B25J1/12 | 分类号： | B25J1/12;B25J15/06 |
| 代理公司： | 北京北新智诚知识产权代理有限公司 11100 | 代理人： | 刘秀青;熊国裕 |
| 地址： | 100088 *** | 国省代码： | 北京;11 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本实用新型提供一种化学机械抛光机用助力机械手，包括硬臂式支撑装置、T型支架和数个真空吸盘，硬臂式支撑装置具有刚性臂杆，T型支架安装在该刚性臂杆的端部，数个真空吸盘安装在T型支架上。本实用新型的助力机械手通过合理的设计实现一次吸吊两块以上陶瓷板，在不损失抛光机设备效率的前提下，减少了人力。 | ||
| 搜索关键词： | 化学 机械 抛光机 助力 机械手 | ||
【主权项】：
一种化学机械抛光机用助力机械手，其特征在于，包括硬臂式支撑装置、T型支架和数个真空吸盘，硬臂式支撑装置具有刚性臂杆，T型支架安装在该刚性臂杆的端部，数个真空吸盘安装在T型支架上。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于有研半导体材料股份有限公司，未经有研半导体材料股份有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201320739613.8/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：一种具有减震功能的内嵌式主轴机构
- 下一篇：一种断路器联锁装置
