[实用新型]一种扫描电镜机台内部载物台结构有效

专利信息
申请号: 201320746242.6 申请日: 2013-11-22
公开(公告)号: CN203674157U 公开(公告)日: 2014-06-25
发明(设计)人: 张帆 申请(专利权)人: 宜硕科技(上海)有限公司
主分类号: H01J37/20 分类号: H01J37/20
代理公司: 上海唯源专利代理有限公司 31229 代理人: 曾耀先
地址: 201103 上海市*** 国省代码: 上海;31
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摘要: 实用新型公开了一种扫描电镜机台内部载物台结构,所述扫描电镜机台内部设有一载物台支架,所述载物台支架上设有一安装孔,所述载物台结构包括一底座,所述底座的下表面对应所述安装孔形成有一连接部,所述连接部固定于所述安装孔内,所述底座的上表面形成有一用于夹持样品的夹持部。以本实用新型的载物台结构取代原有装置,可以透过载物台结构的夹持部观察样品的截面表面结构,同时载物台结构的高度在机台允许的载物高度范围内,提升了机台观察样品的种类,丰富了机台的实用性。
搜索关键词: 一种 扫描电镜 机台 内部 载物台 结构
【主权项】:
一种扫描电镜机台内部载物台结构,其特征在于:所述扫描电镜机台内部设有一载物台支架,所述载物台支架上设有一安装孔,所述载物台结构包括一底座,所述底座的下表面对应所述安装孔形成有一连接部,所述连接部固定于所述安装孔内,所述底座的上表面形成有一用于夹持样品的夹持部。
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