[实用新型]一种扫描电镜机台内部载物台结构有效
申请号: | 201320746242.6 | 申请日: | 2013-11-22 |
公开(公告)号: | CN203674157U | 公开(公告)日: | 2014-06-25 |
发明(设计)人: | 张帆 | 申请(专利权)人: | 宜硕科技(上海)有限公司 |
主分类号: | H01J37/20 | 分类号: | H01J37/20 |
代理公司: | 上海唯源专利代理有限公司 31229 | 代理人: | 曾耀先 |
地址: | 201103 上海市*** | 国省代码: | 上海;31 |
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摘要: | 本实用新型公开了一种扫描电镜机台内部载物台结构,所述扫描电镜机台内部设有一载物台支架,所述载物台支架上设有一安装孔,所述载物台结构包括一底座,所述底座的下表面对应所述安装孔形成有一连接部,所述连接部固定于所述安装孔内,所述底座的上表面形成有一用于夹持样品的夹持部。以本实用新型的载物台结构取代原有装置,可以透过载物台结构的夹持部观察样品的截面表面结构,同时载物台结构的高度在机台允许的载物高度范围内,提升了机台观察样品的种类,丰富了机台的实用性。 | ||
搜索关键词: | 一种 扫描电镜 机台 内部 载物台 结构 | ||
【主权项】:
一种扫描电镜机台内部载物台结构,其特征在于:所述扫描电镜机台内部设有一载物台支架,所述载物台支架上设有一安装孔,所述载物台结构包括一底座,所述底座的下表面对应所述安装孔形成有一连接部,所述连接部固定于所述安装孔内,所述底座的上表面形成有一用于夹持样品的夹持部。
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