[实用新型]一种改进型粉体材料表面等离子体处理装置有效
| 申请号： | 201320755494.5 | 申请日： | 2013-11-27 |
| 公开（公告）号： | CN203562392U | 公开（公告）日： | 2014-04-23 |
| 发明（设计）人： | 沈文凯;王红卫 | 申请（专利权）人： | 苏州市奥普斯等离子体科技有限公司 |
| 主分类号： | H01J37/32 | 分类号： | H01J37/32 |
| 代理公司： | 苏州华博知识产权代理有限公司 32232 | 代理人： | 孟宏伟 |
| 地址： | 215011 江苏省苏州市苏州*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及一种改进型粉体材料表面等离子体处理装置，包括外壳、电极组件、等离子发生器和气体分布板，外壳顶部设置有用于排出气体的抽气口，外壳底部设置有用于通入反应气体的气体入口，外壳内设置有反应腔室，电极组件设置于反应腔室外表面上，气体分布板设置于反应腔室内，电极组件设置于气体分布板上方，气体分布板上设置有若干用于反应气体进入的气孔，电极组件与等离子发生器电连接。本实用新型气体入口通入反应气体，反应气体从气体分布板的气孔进入反应腔室内并同时吹送粉体材料向上运动，电极组件通电形成高频电场将反应气体电离对粉体材料表面处理，避免了粉体材料堆积无法完全均匀的处理，处理效果好，提高工作效率。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 改进型 材料 表面 等离子体 处理 装置 | ||
【主权项】：
一种改进型粉体材料表面等离子体处理装置，其特征在于，包括外壳、电极组件、等离子发生器和气体分布板，所述外壳顶部设置有用于排出气体的抽气口，所述外壳底部设置有用于通入反应气体的气体入口，所述外壳内设置有反应腔室，所述电极组件设置于所述反应腔室外表面上，所述气体分布板设置于所述反应腔室内，所述电极组件设置于所述气体分布板上方，所述气体分布板上设置有若干用于反应气体进入的气孔，所述电极组件与所述等离子发生器电连接。
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