[实用新型]半导体扩散设备的石英舟升降装置有效
| 申请号： | 201320778607.3 | 申请日： | 2013-11-29 |
| 公开（公告）号： | CN203596342U | 公开（公告）日： | 2014-05-14 |
| 发明（设计）人： | 林欣家;郝琪;董金卫 | 申请（专利权）人： | 北京七星华创电子股份有限公司 |
| 主分类号： | H01L21/677 | 分类号： | H01L21/677 |
| 代理公司： | 上海天辰知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 31275 | 代理人： | 吴世华;林彦之 |
| 地址： | 100016 *** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种半导体扩散设备的石英舟升降装置，包括驱动机构、支撑件、双直线导轨、滚珠丝杠、连接板和承载石英舟的升降臂。支撑件横截面为U形，双直线导轨直立地对称设置在支撑件两侧，滚珠丝杠设置在支撑件中部，其由驱动机构驱动转动；连接板安装于滚珠丝杠且与双直线导轨滑动连接，随着滚珠丝杠的转动沿双直线轨道的方向上升或下降；升降臂与连接板固定连接，由连接板的运动带动上升或下降。本实用新型的石英舟升降装置结构紧凑，受力合理且维护方便。 | ||
| 搜索关键词： | 半导体 扩散 设备 石英 升降 装置 | ||
【主权项】：
一种半导体扩散设备的石英舟升降装置，其特征在于，包括： 驱动机构； 支撑件，其横截面为U形； 双直线导轨，直立地对称设置在所述支撑件两侧； 由所述驱动机构驱动转动的滚珠丝杠，其设置于所述支撑件中部； 连接板，安装于所述滚珠丝杠且与所述双直线导轨滑动连接，随所述滚珠丝杠的转动沿所述双直线轨道的方向上升或下降；以及 承载石英舟的升降臂，与所述连接板固定连接，由所述连接板的运动带动上升或下降。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
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