[实用新型]一种多点控温高温石墨化炉

摘要

本实用新型公开了一种多点控温高温石墨化炉，包括设有发热体石墨坩埚、石墨毡保温层，电磁感应线圈，具有冷却水夹层的不锈钢炉体、红外测温控温装置。所述电磁感应线圈为上中下三段式，分别与外部变频感应电源连接，可以分别单独加热。所述红外测温控温装置有三套，分别控制电磁感应圈对石墨坩埚的加热，第一个测温控温装置位于石墨化炉顶端，第二个和第三个位于石墨化炉的侧方中部和侧方底部。本实用新型所述的石墨化炉进行高温加热，通过三段分别控温，特别是对于大型石墨化炉，可以使其内部温度分布更加均匀。

主权项

一种多点控温高温石墨化炉，其特征在于，所述石墨化炉包括发热体石墨坩埚、石墨毡保温层，电磁感应线圈，具有冷却水夹层的不锈钢炉体、红外测温控温装置，所述电磁感应线圈为上中下三段式，分别与外部变频感应电源连接，可以分别单独对发热体石墨坩埚加热，所述红外测温控温装置有三套，用于分别根据测量的温度控制电磁感应圈对石墨坩埚的加热，其中所述红外测温控温装置有三套，第一个测温控温装置位于石墨化炉顶端，第二个测温控温装置位于石墨化炉的侧方中部，第三个测温控温装置位于石墨化炉的侧方底部。