[实用新型]晶圆研磨液超音波震匀设备有效
| 申请号： | 201320782169.8 | 申请日： | 2013-12-02 |
| 公开（公告）号： | CN203694976U | 公开（公告）日： | 2014-07-09 |
| 发明（设计）人： | 吴濬宇;曾义能 | 申请（专利权）人： | 宸沅国际股份有限公司 |
| 主分类号： | B01F11/02 | 分类号： | B01F11/02 |
| 代理公司： | 天津三元专利商标代理有限责任公司 12203 | 代理人： | 钱凯 |
| 地址： | 中国台湾新竹*** | 国省代码： | 中国台湾;71 |
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| 摘要： | 一种晶圆研磨液超音波震匀设备，不同于现有叶片搅匀晶圆研磨液设备以驱动叶片进行搅拌的结构，其主体为下端伸出入液管上端伸出出液管的封闭筒件，且封闭筒件由至少一槽体层层竖设包围所构成，封闭筒件内部中央的槽体为混匀槽，使入液管由下端通入混匀槽内空间，出液管由上端通入混匀槽内空间，混匀槽的槽身四周外壁，叠接至少一只超音波震荡头；出液管上附设有过滤器。本实用新型比现有叶片搅匀晶圆研磨液设备，能更震散细粒相溶混合、提高混匀质量，且能更快更节省混匀预定晶圆研磨稀释液时间。 | ||
| 搜索关键词： | 研磨 超音波 设备 | ||
【主权项】：
一种晶圆研磨液超音波震匀设备，不同于现有叶片搅匀晶圆研磨液设备以驱动叶片进行搅拌的结构，其主体为下端伸出入液管上端伸出出液管的封闭筒件，且封闭筒件由至少一槽体层层竖设包围所构成，封闭筒件内部中央的槽体为混匀槽，使入液管由下端通入混匀槽内空间，出液管由上端通入混匀槽内空间，其特征在于：混匀槽的槽身四周外壁，叠接至少一只超音波震荡头。
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