[实用新型]一种高真空烧结炉有效
申请号: | 201320784205.4 | 申请日: | 2013-12-02 |
公开(公告)号: | CN203629301U | 公开(公告)日: | 2014-06-04 |
发明(设计)人: | 何胜云 | 申请(专利权)人: | 乳源瑶族自治县力强磁铁制品有限公司 |
主分类号: | F27B21/00 | 分类号: | F27B21/00;F27B21/08 |
代理公司: | 广州新诺专利商标事务所有限公司 44100 | 代理人: | 华辉 |
地址: | 512700 广东省韶*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | 本实用新型涉及一种高真空烧结炉,包括炉体、风机、真空阀、抽气泵和小机械泵。该真空阀包括主阀;该抽气泵包括扩散泵、罗茨泵和滑阀泵。该风机、该炉体和该主阀通过管道依序连接。该扩散泵的进口与该主阀的第一出口通过管道连接,并且,该扩散泵、该罗茨泵和该滑阀泵通过管道依序连接。该小机械泵的进口通过管道与该扩散泵的出口连接。本实用新型的高真空烧结炉中的小机械泵防止了扩散泵、罗茨泵和滑阀泵在停止工作后扩散泵中的油蒸汽倒灌进入炉体内,保障了炉内烧结环境的纯度,进而提高了高真空烧结炉的烧结质量。 | ||
搜索关键词: | 一种 真空 烧结炉 | ||
【主权项】:
一种高真空烧结炉,其特征在于:包括炉体、风机、真空阀、抽气泵和小机械泵;该真空阀包括主阀;该抽气泵包括扩散泵、罗茨泵和滑阀泵;该风机、该炉体和该主阀通过管道依序连接;该扩散泵的进口与该主阀的第一出口通过管道连接,并且,该扩散泵、该罗茨泵和该滑阀泵通过管道依序连接;该小机械泵的进口通过管道与该扩散泵的出口连接。
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