[实用新型]一种高真空烧结炉有效

专利信息
申请号: 201320784205.4 申请日: 2013-12-02
公开(公告)号: CN203629301U 公开(公告)日: 2014-06-04
发明(设计)人: 何胜云 申请(专利权)人: 乳源瑶族自治县力强磁铁制品有限公司
主分类号: F27B21/00 分类号: F27B21/00;F27B21/08
代理公司: 广州新诺专利商标事务所有限公司 44100 代理人: 华辉
地址: 512700 广东省韶*** 国省代码: 广东;44
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摘要: 实用新型涉及一种高真空烧结炉,包括炉体、风机、真空阀、抽气泵和小机械泵。该真空阀包括主阀;该抽气泵包括扩散泵、罗茨泵和滑阀泵。该风机、该炉体和该主阀通过管道依序连接。该扩散泵的进口与该主阀的第一出口通过管道连接,并且,该扩散泵、该罗茨泵和该滑阀泵通过管道依序连接。该小机械泵的进口通过管道与该扩散泵的出口连接。本实用新型的高真空烧结炉中的小机械泵防止了扩散泵、罗茨泵和滑阀泵在停止工作后扩散泵中的油蒸汽倒灌进入炉体内,保障了炉内烧结环境的纯度,进而提高了高真空烧结炉的烧结质量。
搜索关键词: 一种 真空 烧结炉
【主权项】:
一种高真空烧结炉,其特征在于:包括炉体、风机、真空阀、抽气泵和小机械泵;该真空阀包括主阀;该抽气泵包括扩散泵、罗茨泵和滑阀泵;该风机、该炉体和该主阀通过管道依序连接;该扩散泵的进口与该主阀的第一出口通过管道连接,并且,该扩散泵、该罗茨泵和该滑阀泵通过管道依序连接;该小机械泵的进口通过管道与该扩散泵的出口连接。
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