[实用新型]扩散炉

摘要

本实用新型提供了一种扩散炉，包括炉管，还包括：第一门板，第一门板与炉管的端口密封连接；第二门板，第二门板设置在炉管的管腔内；其中，第一门板与第二门板之间形成容纳腔，且容纳腔内通有惰性气体。本实用新型通过使第一门板和第二门板之间形成容纳腔，并在容纳腔通入惰性气体，进而可以防止因工艺气体与第一门板接触后进行反应而损坏第一门板，最终使得第一门板无法密封炉管。

主权项

一种扩散炉，包括炉管（10），其特征在于，还包括：第一门板（21），所述第一门板（21）与所述炉管（10）的端口密封连接；第二门板（22），所述第二门板（22）设置在所述炉管（10）的管腔内；其中，所述第一门板（21）与所述第二门板（22）之间形成容纳腔（26），且所述容纳腔（26）内通有惰性气体。