[实用新型]一种氧含量检测装置有效
| 申请号： | 201320802618.0 | 申请日： | 2013-12-06 |
| 公开（公告）号： | CN203824976U | 公开（公告）日： | 2014-09-10 |
| 发明（设计）人： | 王丽荣;董金卫;孙少东 | 申请（专利权）人： | 北京七星华创电子股份有限公司 |
| 主分类号： | G01N33/00 | 分类号： | G01N33/00 |
| 代理公司： | 北京路浩知识产权代理有限公司 11002 | 代理人： | 孟宪功 |
| 地址： | 100015 北京*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及半导体工艺设备技术领域，尤其涉及一种氧含量检测装置。该氧含量检测装置包括氧气分析仪和一个或多个控制系统，所述氧气分析仪通过所述控制系统与检测区域连接。本实用新型的氧含量检测装置既可以检测到微环境传片洁净区域内的氧含量，也可以检测到第一硅片出入口区域和第二硅片出入口区域内部的氧含量，满足半导体工艺制程的要求，结构简单，也可降低设备成本。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 含量 检测 装置 | ||
【主权项】：
一种氧含量检测装置，包括氧气分析仪(2)，其特征在于，还包括一个或多个控制系统，所述氧气分析仪(2)通过所述控制系统与检测区域连接，所述控制系统包括用于控制所述管路(11)的通断的开关模块和用于操作开关模块的执行模块，所述氧气分析仪(2)通过所述开关模块与所述检测区域连接，所述开关模块与所述执行模块连接，所述执行模块与所述控制器(1)连接。
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