[实用新型]化学机械研磨机台及其研磨液供给手臂有效
| 申请号： | 201320804378.8 | 申请日： | 2013-12-09 |
| 公开（公告）号： | CN203636589U | 公开（公告）日： | 2014-06-11 |
| 发明（设计）人： | 周维娜;刘庚申 | 申请（专利权）人： | 中芯国际集成电路制造（北京）有限公司 |
| 主分类号： | B24B37/34 | 分类号： | B24B37/34;B24B55/00;B24B57/02 |
| 代理公司： | 上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237 | 代理人： | 屈蘅;李时云 |
| 地址： | 100176 北京市大兴区*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本实用新型提供一种化学机械研磨机台及其研磨液供给手臂。所述研磨液供给手臂包括主体、设置于所述主体一端的喷嘴以及设置于所述主体底部的多个刷子。所述刷子有助于去除研磨垫沟槽内的残留物质，提高了化学机械研磨机台的清扫能力，有利于减少晶圆表面的划伤缺陷。 | ||
| 搜索关键词： | 化学 机械 研磨 机台 及其 供给 手臂 | ||
【主权项】：
一种研磨液供给手臂，包括主体以及设置于所述主体一端的喷嘴，其特征在于，还包括设置于所述主体底部的多个刷子。
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