[实用新型]多轴电容式加速度计有效
| 申请号： | 201320805308.4 | 申请日： | 2013-12-06 |
| 公开（公告）号： | CN203630155U | 公开（公告）日： | 2014-06-04 |
| 发明（设计）人： | 汪建平;邓登峰 | 申请（专利权）人： | 杭州士兰微电子股份有限公司 |
| 主分类号： | G01P15/125 | 分类号： | G01P15/125 |
| 代理公司： | 上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237 | 代理人： | 郑玮 |
| 地址： | 310012*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本实用新型提供了一种多轴电容式加速度计，所述多轴电容式加速度计的Z轴加速度计的两个Z轴结构层分别放置于XY轴加速度计两侧，该结构可减小封装形变引起的误差，从而提高多轴电容式加速度计的灵敏度。 | ||
| 搜索关键词： | 电容 加速度计 | ||
【主权项】：
一种多轴电容式加速度计，包括基底和XY轴结构层，所述XY轴结构层包括可动质量块、中心锚点、弹性结构以及多个检测电极，所述多个检测电极用于检测X方向和Y方向的加速度，所述可动质量块与所述中心锚点和弹性结构相连，其特征在于，所述多轴电容式加速度计还包括分别位于XY轴结构层两侧的两个Z轴结构层。
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