[实用新型]宽幅激光矢量蚀刻机有效
| 申请号： | 201320810409.0 | 申请日： | 2013-12-11 |
| 公开（公告）号： | CN203623154U | 公开（公告）日： | 2014-06-04 |
| 发明（设计）人： | 李晓笙 | 申请（专利权）人： | 广东东南薄膜科技股份有限公司 |
| 主分类号： | B41J2/435 | 分类号： | B41J2/435 |
| 代理公司： | 汕头市潮睿专利事务有限公司 44230 | 代理人： | 郭晓刚;俞诗永 |
| 地址： | 515000 广东省汕头市*** | 国省代码： | 广东;44 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 一种宽幅激光矢量蚀刻机，包括机架、控制光电路、激光器、干涉仪；所述控制光电路、激光器、干涉仪分别安装在机架上，其特征在于：所述干涉仪由平面偏转镜、光学透镜、第一可移动棱镜、第一道威棱镜、第二道威棱镜、第二可移动棱镜和会聚光学透镜从左到右呈光学配合排列。本实用新型对照现有技术的有益效果是，由于采用了两个道威棱镜和两个可移动棱镜，简化了干涉仪的结构，不但大大提高全息成品的光栅亮度，还能够提高光刻机工作能力，达到的分辩率在5000dpi以上，微结构特性明显，可进行矢量蚀刻。 | ||
| 搜索关键词： | 宽幅 激光 矢量 蚀刻 | ||
【主权项】：
一种宽幅激光矢量蚀刻机，包括机架、控制光电路、激光器、干涉仪；所述控制光电路、激光器、干涉仪分别安装在机架上，其特征在于：所述干涉仪由平面偏转镜、光学透镜、第一可移动棱镜、第一道威棱镜、第二道威棱镜、第二可移动棱镜和会聚光学透镜从左到右呈光学配合排列。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于广东东南薄膜科技股份有限公司，未经广东东南薄膜科技股份有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201320810409.0/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：一种空滤器总成
- 下一篇：燃料和磁混合动力发动机
