[实用新型]一种高频等离子硅烷分解炉有效
| 申请号： | 201320825201.6 | 申请日： | 2013-12-16 |
| 公开（公告）号： | CN203593624U | 公开（公告）日： | 2014-05-14 |
| 发明（设计）人： | 李耀文;耿彩军;刘斌;孙佳杰;张增玉 | 申请（专利权）人： | 李耀文 |
| 主分类号： | C01B33/027 | 分类号： | C01B33/027 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 100071 北京市丰*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及一种高频等离子硅烷分解炉，其包括分解炉筒体、高频等离子灯具、感应线圈以及高频感应配电箱；其中，所述高频等离子灯具收容于分解炉筒体内；所述感应线圈设置于分解炉筒体内，其通过冷却密封组件与高频感应配电箱相连接；所述高频等离子灯具插入感应线圈内；所述高频感应配电箱安装于分解炉筒体的一侧。本实用新型的高频等离子硅烷分解炉利用高频等离子灯具对硅烷气体进行加热，避免了高温气体与金属的直接接触，减少了污染，提高了产品的纯度。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 高频 等离子 硅烷 分解 | ||
【主权项】：
一种高频等离子硅烷分解炉，其特征在于：包括分解炉筒体、高频等离子灯具、感应线圈以及高频感应配电箱；其中，所述高频等离子灯具收容于分解炉筒体内；所述感应线圈设置于分解炉筒体内，其通过冷却密封组件与高频感应配电箱相连接；所述高频等离子灯具插入感应线圈内；所述高频感应配电箱安装于分解炉筒体的一侧。
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