[实用新型]高精度双重传感器激光扫描振镜系统及其扫描振镜电机

摘要

本实用新型属于激光加工技术领域，尤其涉及一种高精度双重传感器激光扫描振镜系统及其扫描振镜电机，包括聚焦系统、执行电动机、控制系统，所述聚焦系统与所述执行电动机连接，所述执行电动机与所述控制系统连接，扫描振镜电机包括与所述同轴振镜电机分别连接的光栅传感器、光电传感器。本实用新型的有益效果是：实现了电机位置的实时校准功能，借助温度漂移控制系统减少系统的温漂问题，最终完成激光的高精度定位。

主权项

一种高精度双重传感器激光扫描振镜系统，包括聚焦系统、执行电动机、控制系统，所述聚焦系统与所述执行电动机连接，所述执行电动机与所述控制系统连接； 所述聚焦系统包括激光器、扩束镜、动态聚焦系统、物镜、x轴同轴振镜、y轴同轴振镜、z轴同轴振镜，所述激光器与所述扩束镜连接，所述扩束镜与所述动态聚焦系统连接，所述动态聚焦系统设置在所述z轴同轴振镜上，所述动态聚焦系统与所述物镜连接，所述物镜与所述x轴同轴振镜连接，所述x轴同轴振镜与所述y轴同轴振镜连接，所述x轴同轴振镜和所述y轴同轴振镜的镜面中心与所述激光器和所述扩束镜的光轴重合，所述动态聚焦系统的中心与所述x轴同轴振镜和y轴同轴振镜镜面中心重合； 所述控制系统包括扫描控制器和激光控制器，所述扫描控制器与所述激光控制器连接，所述激光控制器与所述激光器连接，所述扫描控制器与所述执行电动机连接； 所述x轴同轴振镜、y轴同轴振镜、z轴同轴振镜分别与x轴扫描振镜电机、y轴扫描振镜电机、z轴扫描振镜电机连接，所述x轴振镜扫描电机、y轴振镜扫描电机、z轴振镜是电机均与所述执行电动机连接。