[实用新型]一种立式真空溅射镀膜生产线

摘要

本实用新型公开了一种立式真空溅射镀膜生产线，其包括传送流水线和镀膜流水线，镀膜流水线与传送流水线连接；传送流水线包括一轨道、至少一个传送车和至少一个装片装置，传送车在所述轨道上运行，通过传送车传送装片装置；镀膜流水线包括一进口腔室、一进口过渡腔室、一进口缓冲腔室、一镀膜腔室、一出口缓冲腔室、一出口过渡腔室和一出口腔室。与现有技术相比，传送流水线和镀膜流水线首尾相连形成一环形流水线，节约占地面积，整个镀膜生产线中基片传送采用智能控制，节约人力物力，提供生产效率，镀膜流水线中各腔室依据产品需求更换或增加，整条镀膜生产线适应多种镀膜工艺要求，使用寿命延长，节约资源，因此其应用前景十分广阔。

主权项

一种立式真空溅射镀膜生产线，其特征在于，包括：一传送流水线和一镀膜流水线，镀膜流水线与传送流水线连接，传送流水线传送基片，镀膜流水线包括进口腔室、进口过渡腔室、进口缓冲腔室、镀膜腔室、出口缓冲腔室、出口过渡腔室和出口腔室，所述进口腔室、进口过渡腔室、进口缓冲腔室、镀膜腔室、出口缓冲腔室、出口过渡腔室和出口腔室依次首尾连接，所述基片通过进口腔室从传送流水线进入镀膜流水线，通过出口腔室从镀膜流水线移出。