[实用新型]薄膜应力测试仪有效
| 申请号： | 201320839499.6 | 申请日： | 2013-12-18 |
| 公开（公告）号： | CN203688116U | 公开（公告）日： | 2014-07-02 |
| 发明（设计）人： | 赵升升;程毓 | 申请（专利权）人： | 深圳职业技术学院 |
| 主分类号： | G01L1/24 | 分类号： | G01L1/24 |
| 代理公司： | 深圳市顺天达专利商标代理有限公司 44217 | 代理人： | 王小青 |
| 地址： | 518055 广东省*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及一种薄膜应力测试仪，用于测量镀膜后的基片上的薄膜应力，包括：用于放置基片的样品台；用于发射激光束的激光发射器，设置于所述样品台上方；激光探测仪，设置于所述样品台上方；用于将所述激光束反射到所述样品台上的基片的反光镜，设置于所述样片台上方，且相对于所述激光发射器发射的激光束的行进方向倾斜设置；以及用于接收所述基片反射的激光束、并将其反射到所述激光探测仪的半透镜，所述该半透镜位于所述样片台上方、反光镜下方且相对于所述激光束的行进方向倾斜设置；其中所述激光探测仪是激光光斑位敏探测仪。该薄膜应力测试仪可以提供较大的光程距离，激光探测仪分辨率达到30μm，有效提高测试精度。 | ||
| 搜索关键词： | 薄膜 应力 测试仪 | ||
【主权项】：
一种薄膜应力测试仪，用于测量镀膜后的基片上的薄膜应力，其特征在于，包括：用于放置基片的样品台；用于发射激光束的激光发射器，设置于所述样品台上方；激光探测仪，设置于所述样品台上方；用于将所述激光束反射到所述样品台上的基片的反光镜，设置于所述样片台上方，且相对于所述激光发射器发射的激光束的行进方向倾斜设置；以及用于接收所述基片反射的激光束、并将其反射到所述激光探测仪的半透镜，所述该半透镜位于所述样片台上方、反光镜下方且相对于所述激光束的行进方向倾斜设置；其中所述激光探测仪是激光光斑位敏探测仪。
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