[实用新型]一种用于铜铟镓硒薄膜光伏电池的多通道激光刻划系统有效
申请号: | 201320867395.6 | 申请日: | 2013-12-26 |
公开(公告)号: | CN203679531U | 公开(公告)日: | 2014-07-02 |
发明(设计)人: | 赵建华;陈坚;董敬涛;吴周令 | 申请(专利权)人: | 合肥知常光电科技有限公司 |
主分类号: | B23K26/362 | 分类号: | B23K26/362;B23K26/046;B23K26/70;H01L31/18 |
代理公司: | 合肥天明专利事务所 34115 | 代理人: | 金凯 |
地址: | 230031 安徽省合肥市高新*** | 国省代码: | 安徽;34 |
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摘要: | 本实用新型提供一种用于铜铟镓硒薄膜光伏电池的多通道激光刻划系统,包括激光器以及依次设置于所述激光器输出光路上的扩束镜、第一分光镜、第二分光镜、全反射镜和用于控制薄膜光伏电池板运动的操作平台,还包括分光镜组和透镜组,所述分光镜组设置于全反射镜的反射光路上,所述透镜组设置于分光镜组的出射光路上,用于将分光镜组分出的同等能量的光束聚焦到薄膜光伏电池板上。本实用新型通过设置分光镜组和透镜组,可实现铜铟镓硒薄膜光伏电池的多通道激光刻划,有效提高了加工效率,满足大规模工业化的需求。 | ||
搜索关键词: | 一种 用于 铜铟镓硒 薄膜 电池 通道 激光 刻划 系统 | ||
【主权项】:
一种用于铜铟镓硒薄膜光伏电池的多通道激光刻划系统,包括激光器以及依次设置于所述激光器输出光路上的扩束镜、第一分光镜、第二分光镜、全反射镜和用于控制薄膜光伏电池板运动的操作平台,其特征在于:还包括分光镜组和透镜组,所述分光镜组设置于全反射镜的反射光路上,所述透镜组设置于分光镜组的出射光路上,用于将分光镜组分出的同等能量的光束聚焦到薄膜光伏电池板上。
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