[实用新型]平面度光学测量设备有效

专利信息
申请号: 201320875722.2 申请日: 2013-12-27
公开(公告)号: CN203704886U 公开(公告)日: 2014-07-09
发明(设计)人: 刘建华;彭玮;吴鑫毅;艾晓国;仝敬烁;尹建刚;高云峰 申请(专利权)人: 深圳市大族激光科技股份有限公司
主分类号: G01B11/30 分类号: G01B11/30
代理公司: 暂无信息 代理人: 暂无信息
地址: 518055 广东省深*** 国省代码: 广东;44
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摘要: 实用新型涉及光学测量技术领域,具体涉及一种自动化、非接触式的平面度光学测量设备,包括机架,第一驱动装置、测量装置、定位装置以及工控系统;机架上端设有工作台;第一驱动装置设置于工作台上;测量装置与第一驱动装置固定连接;定位装置设置于工作台上;工控系统设置于机架内。本实用新型克服了现有平面度检测方式的缺陷,具有精度高、人为干扰因素小、成本低和效率高的特点。
搜索关键词: 平面 光学 测量 设备
【主权项】:
一种平面度光学测量设备,其特征在于:包括机架,所述机架上端设有工作台;第一驱动装置,设置于所述工作台上;测量装置,与所述第一驱动装置固定连接,用于获取待测工件的数据;定位装置,设置于所述工作台上,用于固定待测工件;工控系统,设置于所述机架内,用于控制所述第一驱动装置和测量装置,以及计算分析所述测量装置反馈的数据。
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