[实用新型]一种低损耗极紫外光传输系统

摘要

本实用新型公开了一种低损耗极紫外光传输系统，包括超环面镜、光栅；超环面镜为非球面掠入射型超环面镜；光栅为掠入射型凹面聚焦光栅；超环面镜的入射光为极紫外光，入射光的光源位于超环面镜物点处；入射光依次经过超环面镜和光栅后，聚焦在为平面的光谱面上；光栅位于超环面镜聚焦点和光谱面之间；光栅表面设有光栅线；光栅线密度的分布满足公式关系：d(w)＝d₀+d₁w+d₂w²+d₃w³，其中，w为每条光栅线的中点距离光栅中心法线的距离；d₀为光栅线密度，d₀＝1190～1210l/mm；d₁＝-3.646～-3.446mm^-2，d₂＝8.556～8.756×10^-3mm^-3，d₃＝-2.309～-2.109×10^-5mm^-4。本实用新型提供了一种可以降低极紫外光聚焦反射过程的能量损失的低损耗极紫外光传输系统。

主权项

一种低损耗极紫外光传输系统，其特征在于：包括超环面镜、光栅；所述超环面镜为非球面掠入射型超环面镜；光栅为掠入射型凹面聚焦光栅；超环面镜的入射光为极紫外光，入射光的光源位于超环面镜物点处；所述入射光经过超环面镜聚焦后为聚焦光，该聚焦光再入射至光栅，经过光栅衍射后，成为衍射光，最后该衍射光均聚焦在光谱面上，该光谱面为平面；所述光栅位于超环面镜聚焦点和光谱面之间；光栅表面设有光栅线；光栅线密度的分布满足如下公式关系：d(w)＝d₀+d₁w+d₂w²+d₃w³，其中，w为每条光栅线的中点距离光栅中心法线的距离；d₀为光栅线密度，d₀＝1190～1210l/mm；d₁＝‑3.646～‑3.446mm^‑2，d₂＝8.556～8.756×10^‑3mm^‑3，d₃＝‑2.309～‑2.109×10^‑5mm^‑4。