[实用新型]一种PECVD石英管锁扣保护罩有效

专利信息
申请号: 201320879853.8 申请日: 2013-12-30
公开(公告)号: CN203659907U 公开(公告)日: 2014-06-18
发明(设计)人: 杨浩 申请(专利权)人: 英利能源(中国)有限公司
主分类号: H01L31/18 分类号: H01L31/18;C23C16/44
代理公司: 石家庄国为知识产权事务所 13120 代理人: 米文智
地址: 071051 河*** 国省代码: 河北;13
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摘要: 实用新型公开了一种PECVD石英管锁扣保护罩,属于太阳能电池生产技术领域,包括上下连接并相通的空心状梯形圆台Ⅰ和梯形圆台Ⅱ;所述梯形圆台Ⅰ和梯形圆台Ⅱ为一整体结构,所述梯形圆台Ⅰ的下底边与梯形圆台Ⅱ的上底边重合,且两者中心线在一条直线上;本实用新型使用时,可直接将保护罩套在石英管的锁扣上,锁扣被全部覆盖,生产过程中产生的氮化硅直接吸附在保护罩上面,阻挡了氮化硅在锁扣上的附着,避免了锁扣被堵塞;吸附在保护罩上面的氮化硅易于清理,操作简单,安装和拆卸方便,有助于减少维护时间。
搜索关键词: 一种 pecvd 石英管 锁扣保 护罩
【主权项】:
一种PECVD石英管锁扣保护罩,其特征在于:包括上下连接并相通的空心状梯形圆台Ⅰ(1)和梯形圆台Ⅱ(2);所述梯形圆台Ⅰ(1)和梯形圆台Ⅱ(2)为一整体结构,所述梯形圆台Ⅰ(1)的下底边与梯形圆台Ⅱ(2)的上底边重合,且两者中心线在一条直线上。
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