[实用新型]一种单晶炉导气管有效

专利信息
申请号: 201320880182.7 申请日: 2013-12-30
公开(公告)号: CN203653744U 公开(公告)日: 2014-06-18
发明(设计)人: 田迎新;马志伟;邵国亮;李超 申请(专利权)人: 英利能源(中国)有限公司
主分类号: C30B15/00 分类号: C30B15/00
代理公司: 石家庄国为知识产权事务所 13120 代理人: 米文智
地址: 071051 河*** 国省代码: 河北;13
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摘要: 实用新型公开了一种单晶炉导气管,属于单晶炉排气技术领域,包括导气弯管和导气直管,所述导气弯管为一端开口的横向管道,其底面为平面,且底面上设有圆孔;所述导气直管为竖直圆管,其顶端外圆周上均匀分布着扣爪;所述圆孔上分布着与扣爪相适配的凹槽;所述导气直管为伸缩管。本实用新型结构合理简单、安装便捷,能够有效保证导气弯管和导气直管的同轴性,保证气体的顺畅排出,为单晶硅的产品质量提供保障。
搜索关键词: 一种 单晶炉导 气管
【主权项】:
一种单晶炉导气管,包括导气弯管(9)和导气直管(12),其特征在于:所述导气弯管(9)为一端开口的横向管道,其底面为平面;所述导气弯管(9)的底面上设有圆孔(18);所述导气直管(12)为竖直圆管,其顶端外圆周上均匀分布着扣爪Ⅰ(16);所述圆孔(18)上分布着与扣爪Ⅰ(16)相适配的凹槽Ⅰ(17);所述导气直管(12)为伸缩管。
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