[实用新型]LED曝光机外设高效过滤供气系统有效
申请号: | 201320880253.3 | 申请日: | 2013-12-30 |
公开(公告)号: | CN203689000U | 公开(公告)日: | 2014-07-02 |
发明(设计)人: | 张方德;王玉璋;林炳巧 | 申请(专利权)人: | 浙江欧视达科技有限公司 |
主分类号: | G03F7/20 | 分类号: | G03F7/20;B01D46/00 |
代理公司: | 杭州浙科专利事务所(普通合伙) 33213 | 代理人: | 吴秉中 |
地址: | 325011 浙江省温州市温州高新技*** | 国省代码: | 浙江;33 |
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摘要: | 本实用新型提供了一种LED曝光机外设高效过滤供气系统,包括机架,所述机架顶部设有防尘板,密封舱室设于机架中上部,真空泵设置于密封舱室的下方,所述密封舱室的左右两侧内壁设有风机,所述风机具有设于密封舱室外的风机散热口,所述密封舱室的上方和背面设有两块高效空气过滤器。本实用新型为LED曝光机配套设施,一是为曝光机工作台框内提供负压吸真空,二是为曝光机内曝光仓提供经过过滤的正压洁净空气,真空泵与风机外移后,可以消除震动对面阵光源的影响;设置两块高效空气过滤器,提高空气过滤效率,同时延长高效空气过滤器滤芯维护更换间隔;风机电机通过两侧的风机散热口散热,消除风机产生的热量对曝光仓内菲林底片的影响。 | ||
搜索关键词: | led 曝光 外设 高效 过滤 供气 系统 | ||
【主权项】:
一种LED曝光机外设高效过滤供气系统,包括机架,其特征在于:所述机架顶部设有防尘板(1),密封舱室(6)设于机架中上部,真空泵(2)设置于密封舱室(6)的下方,所述密封舱室(6)的左右两侧内壁设有风机(3),所述风机(3)具有设于密封舱室外的风机散热口(4),所述密封舱室(6)的上方和背面设有两块高效空气过滤器(5)。
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