[实用新型]掩模传输版库设备

摘要

本实用新型提供了一种掩模传输版库设备，包括：解锁机构、升降机构和版盒以及在所述解锁机构下方的掩模版保护机构，其中，解锁机构包括驱动电机、连杆机构以及偏心轮，驱动电机驱动偏心轮旋转，然后偏心轮驱动连杆机构同步运动，实现版盒解锁和锁定，结构简单、成本低、同步和重复性好且易维护；所述升降机构中，驱动电机通过同步带轮和同步齿形带，驱动升降台沿竖直轨道运动，并在传动轴和从动轴各上设置有背靠背轴承，加大运动轴径向受力，提高掩模版升降机构运动平稳性和可靠性，实现高精度升降；所述掩膜版保护机构用于在所述版盒未运行到位时，机械锁死，保护掩模版不被非法取出或者放回；并且掩模传输版库设备可以适应单层、多层和不同尺寸掩模版盒，并实现精确定位每一个掩模版。

主权项

一种掩模传输版库设备，包括解锁机构、升降机构和版盒，其特征在于，还包括在所述解锁机构下方的掩模版保护机构；所述解锁机构，用于在取出或者放回掩模版时，松开锁扣；所述升降机构，用于驱使版盒上下运动；所述版盒由版盒壳和版架构成，所述版盒为单层版盒或多层版盒，所述掩模版搁置在所述版架的某层支持架上；所述掩模版保护机构，用于在所述版盒未运行到位时，机械锁死，保护掩模版不被非法取出或者放回。