[实用新型]一种正交脉冲输出的激光干涉仪信号处理装置有效
| 申请号： | 201320891206.9 | 申请日： | 2013-12-31 |
| 公开（公告）号： | CN203785632U | 公开（公告）日： | 2014-08-20 |
| 发明（设计）人： | 高为官;池峰 | 申请（专利权）人： | 上海微电子装备有限公司 |
| 主分类号： | G01B11/02 | 分类号： | G01B11/02 |
| 代理公司： | 上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237 | 代理人： | 屈蘅;李时云 |
| 地址： | 201203 上*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本实用新型提供一种正交脉冲输出的激光干涉仪信号处理装置包括：包括依次连接的信号接收对比模块、信号产生模块和信号驱动模块；其中，所述信号接收对比模块，用于接收参考信号和测量信号经过转换比较后给出脉冲信号及正交脉冲信号的数量和方向；所述信号产生模块，用于接收所述信号接收对比模块给出的所有信息，然后产生正确数量和方向的所述正交脉冲信号；所述信号驱动模块，发送所述正交脉冲信号至信号线上。本实用新型将激光测量信号转换为正交脉冲信号输出，控制器可以直接采集干涉仪的位移测量数据，并省略了总线控制器等不必要得环节，使系统结构简单化，提高激光干涉仪在纳米级精度测量应用中的灵活性与通用型。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 正交 脉冲 输出 激光 干涉仪 信号 处理 装置 | ||
【主权项】：
一种正交脉冲输出的激光干涉仪信号处理装置，其特征在于，包括依次连接的信号接收对比模块、信号产生模块和信号驱动模块；其中，所述信号接收对比模块，用于接收参考信号和测量信号经过转换比较后给出脉冲信号及正交脉冲信号的数量和方向；所述信号产生模块，用于接收所述信号接收对比模块给出的所有信息，然后产生正确数量和方向的所述正交脉冲信号；所述信号驱动模块，发送所述正交脉冲信号至信号线上。
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