[实用新型]版库设备有效
| 申请号： | 201320891209.2 | 申请日： | 2013-12-31 |
| 公开（公告）号： | CN203714553U | 公开（公告）日： | 2014-07-16 |
| 发明（设计）人： | 孙鹤源;王长刚 | 申请（专利权）人： | 上海微电子装备有限公司 |
| 主分类号： | B65G1/04 | 分类号： | B65G1/04;B65G1/137 |
| 代理公司： | 上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237 | 代理人： | 屈蘅;李时云 |
| 地址： | 201203 上*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本实用新型提供了一种版库设备，包括版库，所述版库的内部沿竖直方向上区分若干个槽，每个槽用以容置一个版盒，该版库设备还包括升降结构，所述版库设在所述升降结构上，且通过所述升降结构实现升降运动。本实用新型引入了升降结构，由于版库能容纳多个掩模版盒，本实用新型并不要求机械手做复杂的运动，主要表现在其无需沿竖直方向上运动，而是通过升降结构带动版库做升降运动，如此一来，只需在升降时设置合理的工位就能实现不同槽内版盒的取放，避免因多个掩模版库所导致的机械手控制复杂的问题。提供了一种在取放版盒时能够降低机械手运动的复杂性的版库设备。 | ||
| 搜索关键词： | 设备 | ||
【主权项】：
一种版库设备，包括版库，所述版库的内部沿竖直方向上区分若干个槽，每个槽用以容置一个版盒，其特征在于：还包括升降结构，所述版库设在所述升降结构上，且通过所述升降结构实现升降运动。
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