[实用新型]一种换热器均流装置有效
| 申请号： | 201320891783.8 | 申请日： | 2013-12-31 |
| 公开（公告）号： | CN203642774U | 公开（公告）日： | 2014-06-11 |
| 发明（设计）人： | 宋新丰;王丽荣 | 申请（专利权）人： | 北京七星华创电子股份有限公司 |
| 主分类号： | F28F9/22 | 分类号： | F28F9/22;H01L21/67 |
| 代理公司： | 上海天辰知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 31275 | 代理人： | 吴世华;陶金龙 |
| 地址： | 100016 *** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种换热器均流装置，包括换热器、回风盒、回风盒下侧设有出风口，所述换热器与回风盒之间设有均流板，所述均流板划分至少两个不同的区域，所述均流板各区域设有若干个供气流通过的通孔，所述通孔大小和/或分布密度自上而下逐渐减小。本实用新型提供的一种换热器均流装置，改善半导体设备微环境内部流场的均匀性，使流通换热器的气流均流，提高换热器的使用效率，具有占用空间小、均流效果好、结构设计简单和具有可调性等优点。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 换热器 装置 | ||
【主权项】：
一种换热器均流装置，包括换热器、回风盒、回风盒下侧设有出风口，其特征在于，所述换热器与回风盒之间设有均流板，所述均流板划分至少两个不同的区域，所述均流板各区域设有若干个供气流通过的通孔，所述通孔大小和/或分布密度自上而下逐渐减小。
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